电子探针是材料研究中非常有用的仪器，可以解决材料显微结构－配方－工艺－性能关系的许多关键问题,是新材料研制和材料改性的主要研究手段之一。电子探针通过电子束激发试样微区产生的二次电子、背散射电子及X射线等信息，进行试样表面形貌观察及成分分析。成分分析主要用波谱仪（WDS：Wavelength Dispersive Spectrometer），也可以用能谱仪（EDS： Energy Dispersive Spectrometer)进行成分分析。

          电子探针主要用于成分分析、形貌观察，以成分分析为主。采用用WDS进行元素成分分析、检出角大、附有光学显微镜（OM），可以准确定位工作距离(物镜极靴下表面与试样表面之间的距离)、电流大、稳定，所以定量结果准确度高，检测极限低。二次电子像分辨率约为3nm(LaB6)~6nm。

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